一体式等离子清洗系统

卓凌一体式等离子清洗系统是一款面向科研院所与高端制造领域的智能清洗设备。系统以低损伤表面处理和高洁净效率为核心设计理念，可高效去除真空设备腔体及精密部件表面的颗粒、水汽和有机残留，实现在线清洗、无损维护与智能控制，助力用户构建高稳定性、高洁净度的真空环境。

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产品详情

六大核心系统

• 智能充气系统：双路混气设计，支持多气体精确配比；高精度质量流量计，保证气体流量稳定与均匀。

• 高效抽气控压系统：集成高性能真空泵与智能控压模块；快速抽气、动态稳压，保证清洗过程安全可靠。

• 在线质谱分析系统：实时检测清洗后残余气体成分；清洗结果可视化、可追溯。

• 精准烘烤控温系统：三路独立温控，最大加热功率2500W；稳定控温，提升污染物脱附与去除效率。

• 可调等离子体激发系统：射频电源驱动辉光放电，生成高活性等离子体；功率可调、电极可换，适配多场景清洗需求。

• 智能数据控制系统：一体化控制平台，集中管理气体、真空、射频、温控等模块；支持数据记录、趋势分析与远程监控。