真空部分:真空腔体、真空获得、真空测量
注气部分:三维调节注气杆,流量控制
联动控制部分:阀门和真空计联动
探测器部分:CCD探测器
支撑部分:三维微调控制柜部分
腔体材质 : 304不锈钢
真空度 : 5E-9 mbar
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