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束流位置在线检测

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产品详情

  • 整体极限真空：<5E-10 mbar

  • 四刀狭缝开口：水平和垂直 ±10mm

  • 四刀狭缝运动精度：0.01μm

  • 行程：10mm

  • 光二级管探测器范围：1nm-190nm

  • 光斑刀片扫描精度：5μm，行程±10mm

  • 在线远程控制，兼容EPICS

  • 刀片材质：碳化钨，钽或钨

  • 荧光片尺寸：10*10mm，中心位置分辨率：20μm， 带刻度测量，运动范围：50mm


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