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高真空四刀狭缝

JM-MFBS 高真空四刀狭缝，结构上采用氟橡胶密封，可以满足高真空5E-5Pa系统使用。两组狭缝独立运动，通过步进电机驱动，带动高精密抛光的钨刀片直线运动，电机加装编码器控制，可以满足1 μm/step分辨率。
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产品详情

  • 分辨率：1 μm/step

  • 定位精度：±2 μm，重复定位精度<2 μm

  • 极限真空度：5E-5 Pa

  • 刀口平直度：0.02 mm，表面粗糙度<Ra 0.8

  • 刀口平行度：0.5°

  • 支持EPICS系统，预留IOC接口


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