光束诊断部件

荧光片尺寸

³10´10mm²   (YAG 和 CVD 每个单片)

中心位置分辨率

2μm（带刻度测量）

光斑尺寸分辨率

＜2μm

最大热负荷

4w

最大热功率密度

2000w/mm²

荧光片基底材料

YAG and CVD (可电动切换)

是否冷却

水冷或被动散热

靶片基材要求

表面粗糙度£20nm

靶片厚度

有效厚度£50μm

真空度

＜10^-7Pa

荧光片运动范围X

15mm

荧光片运动分辨率X

2mm

荧光片运动重复性X

5mm

荧光片运动范围Z

60mm

荧光片运动分辨率Z

2mm

荧光片运动重复性Z

5mm

荧光片安装精度

<0.1 º(相对入射X光束方向)

荧光片安装精度

<0.1 º(相对入射X光束方向)

平面反光镜有效尺寸

³15´10mm²

平面反光镜固定方式

与荧光片固定一体，夹角45º

平面反光镜安装精度

<0.1 º(相对荧光靶)

平面反光镜安装精度

<0.1 º(相对荧光靶)

狭缝类型

四刀Four blade

狭缝开口

水平和垂直：±10mm

运动分辨率

0.2μm

运动重复精度

0.5μm

狭缝稳定性

0.5μm

最大热负荷

4w

最大功率密度

£2000w/mm²

冷却方式

水冷或被动散热

真空度

＜10^-7Pa

粗糙度

Nano polish, s＜2nm

刀口平行度

urad

刀口材料

碳化钨   ，或钽，或钨

平直度

任意有效区域＜50nm   (range:1mm)带热负载

热膨胀变形

最大热膨胀<1μm，直线度变化<0.1μm（全程）