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光束线

新光束线主线和新光束线支线分别为相干图案化系统和成像系统提供需要的光束。新光束线主线 和新光束线支线 主要由 2 面平面镜、1 面球面镜、1 面柱面镜、一台光栅单色器及2套针孔系统等设备构成。
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产品详情


新光束主线

  • 能量范围：覆盖 92 eV

  • 能量带宽：优于4%

  • 聚焦尺寸：FWHM优于200×60μm2

  • 光子通量：≥3×1013 phs/s@4%BW@360 mA

  • 真空度：静态真空6×10-8 Pa


新光束支线

  • 波长范围：10-16 nm

  • 能量分辨：1600@92 eV

  • 聚焦尺寸：FWHM优于30×20μm2

  • 光子通量：≥1×1012 phs/s@0.1%BW@360 mA@92 eV

  • 发散角：≤1×1 mrad2

  • 真空度：静态真空6×10-8 Pa


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