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异型腔体内壁镀膜系统

异型腔体内壁镀膜系统主要是利用磁控溅射的方法对异型腔体内壁进行蒸镀NEG膜或超导铌膜，主要包括特制溅射腔室、支撑、真空系统、特制磁控溅射枪等。
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产品详情

  • 可实现内壁生长厚度不超过（10微米）的高熔点金属溅射

  • RF清洗电源：频率13.56MHz，额定功率500W，射频输出范围5-500W，功率稳定性±0.1%，风冷

  • 可匹配腔尺寸为长424mm,中心直径210.3mm

  • 特制真空腔室静态系统极限真空：<5E-7Pa

  • 工作压力0.1-1 Pa

  • 磁控溅射脉冲直流电源：输出功率2KW，输出频率40KHz，工作电压100-1000V，工作电流0-2A，占空比10%-80%， 调节精度≤1%，工作方式恒流，风冷，支持外部通讯


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