

整体漏率:Q≤1×10-12 Pa·m3 / s
真空度:<3×10-7 Pa
磁导率:<1.05,剩磁:<0.5 Gs
真空法兰刀口硬度:>140 HB
拉伸压缩量:±10 mm,错位量:±1.5 mm,在±10 mm 极限伸缩状态下错位量±1.5 mm
残余气体分析:AMU 大于44 的气体的电流之和Iamu>44 与气体总电流Itotal 满足关系:Iamu >44/Itotal<1/1000
超净指标(颗粒度):百级(ISO5)的无尘环境中,采用洁净氮气(压强大于0.3MPa)吹扫元件表面,微粒计数器(气体流量28.3 升/分钟,可探测微粒尺寸0.3 微米)的采样口置于离元件10 cm 处用于监测微粒计数。0.3 微米及以上尺度的微粒计数为0 个/10 秒
焊接方式:电子束焊接或钎焊(可选)
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