安徽卓凌机电技术有限责任公司

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VAT 蝶阀和隔离阀 95.1/95.2系列

控制阀

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BUTTERFLY AND ISOLATION VALVEA，SERIES 95.1/95.2 Control and isolation valve combined as a compact unit. 控制和隔离阀组合成一个紧凑的单元。
VAT 控制阀 67.0系列

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SYMMETRICAL  CONTROL VALVE，SERIES 67.0 Downstream pressure control and isolation valve for SEMI and FPD processes. Ideal for demanding etching processes. 半成品和FPD工艺的下游压力控制和隔离阀。适用于高要求的蚀刻工艺。
VAT 钟摆控制阀 65.5系列

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PENDULUM CONTROL VALVE，SERIES 65.5 Downstream pressure control and isolation valve for SEMI and FPD processes. Optimal for corrosive etching and cleaning processes. 半成品和FPD工艺的下游压力控制和隔离阀。适用于腐蚀性蚀刻和清洗工艺。
VAT 钟摆控制阀 65.2系列

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PENDULUM CONTROL VALVE，SERIES 65.2 Downstream pressure control and isolation valve for SEMI and FPD processes. Optimal for corrosive etching and cleaning processes. 半成品和FPD工艺的下游压力控制和隔离阀。适用于腐蚀性蚀刻和清洗工艺。
VAT 钟摆控制阀 65.1系列

控制阀

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PENDULUM CONTROL VALVE，SERIES 65.1 Downstream pressure control and isolation valve for SEMI and FPD processes. Optimal for corrosive etching and cleaning processes. 半成品和FPD工艺的下游压力控制和隔离阀。适用于腐蚀性蚀刻和清洗工艺
VAT 钟摆控制阀 65.0系列

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PENDULUM CONTROL VALVE,SERIES 65.0 Downstream pressure control and isolation valve for SEMI and FPD processes. Optimal for corrosive etching and cleaning processes. 半成品和FPD工艺的下游压力控制和隔离阀。 适用于腐蚀性蚀刻和清洗工艺。
VAT 超高真空插板控制阀 64.8系列

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UHV GATE CONTROL VALVE，SERIES 64.8 Control and isolation valve for SEMI，FPD and industrial processes. Optimal for sputtering and etching processes. 半成品、平板显示器和工业过程的控制和隔离阀。 最佳的溅射和蚀刻工艺。
VAT 高真空插板控制阀 64.2系列

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HV GATE CONTROL VALVE，SERIES 64.2 Control and isolation valve for SEMI，FPD and industrial processes. Optimal for sputtering and etching processes. 半成品、平板显示器和工业过程的控制和隔离阀。 最佳的溅射和蚀刻工艺。
VAT 角度控制阀 62.0系列

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ANGLE CONTROL VALVE，SERIES  62.0 Downstream pressure control and isolation valve for processes with high temperatures and high pressures like LPCVD，ALD etc.. 用于高温高压工艺的下游压力控制和隔离阀，如LPCVD、ALD等..

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