安徽卓凌机电技术有限责任公司

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VAT 特殊阀门 L-VAT 94.5系列

真空阀门

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SPECIAL DOOR L-VAT,SERIES 94.5 For transfer and process chamber isolation in semiconductor production systems for 200 and 300 mm wafers. 用于200毫米和300毫米晶圆的半导体生产系统中的转移和工艺室隔离。
VAT 特殊传送阀 L-MOTION/L-VAT 94.0系列

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SPECIAL TRANSFER VALVE L-MOTION/L-VAT,SERIES 94.0 For transfer and process chamber isolation in semiconductor production systems for 200 and 300 mm wafers. 用于200毫米和300毫米晶圆的半导体生产系统中的转移和工艺室隔离。
VAT 传送阀门 L-VAT 07.5系列

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TRANSFER DOOR L-VAT, SERIES 07.5 For load lock and processes chamber isolation on the atmospheric aide of semiconductor production systems. 用于半导体生产系统大气辅助下的负载锁定和工艺室隔离。
VAT 传送阀插入L-MOTION 04.3/05.3系列

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TRANSFER VALVE/INSERT L-MOTIOM,SERIES 04.3/05.3 For load lock and process chamber isolation in semiconductor production systems. Especially suited for corrosive processes such as etch or CVD. 用于半导体生产系统中的负载锁定和工艺室隔离。特别适用于腐蚀性工艺，如蚀刻或化学气相沉积。
VAT 传送阀插入L-VAT 04.2/05.2系列

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TRANSFER VALVE/INSERT L-VAT,SERIES 04.2/05.2 For load lock and process chamber isolation in semiconductor production systems. Especially suited for corrosive processes such as etch or CVD. 用于半导体生产系统中的负载锁定和工艺室隔离。特别适用于腐蚀性工艺，如蚀刻或化学气相沉积。
VAT 传送阀插入L-VAT 04.1/05.1系列

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TRANSFER VALVE/INSERT L-VAT,SERIES 04.1/0.51 For load lock and process chamber isolation in semiconductor production systems. Especially suited for corrosive processes such as etch or CVD. 用于半导体生产系统中的负载锁定和工艺室隔离。特别适用于腐蚀性工艺，如蚀刻或化学气相沉积。
VAT 传送阀插入MONOVAT 02.2/03.2系列

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TRANSFER VALVE/INSERT MONOVAT,SERIES 02.2/ 03.2 For load lock and process chamber isolation in semiconductor production systems for 200,300 and 450 mm wafers. 用于200，300和450mm晶圆半导体生产系统中的负载锁定和工艺室隔离。
VAT 传送阀插入MONOVAT 02.1/03.1系列

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TRANSFER VALVE / INSERT MONOVAT, SERIES 02.1 / 03.1 For load lock and process chamber isolation in semiconductor production systems for 200 and 300 mm wafers 用于200毫米和300毫米晶圆的半导体生产系统中的负载锁定和工艺室隔离
VAT 蝶阀和隔离阀 95.1/95.2系列

控制阀

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BUTTERFLY AND ISOLATION VALVEA，SERIES 95.1/95.2 Control and isolation valve combined as a compact unit. 控制和隔离阀组合成一个紧凑的单元。

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