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Pfeiffer 普发涡轮分子泵 Hipace 1000-2000 l/s
    发布时间: 2017-07-05 10:53    
德国普发 Pfeiffer 分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 产品优点:

1. 四种抽速,抽速为自1,000 至 2,000 l/s
2. 对于分子量较小气体以及分子量较大气体的高抽速
3. 适用各种工艺如刻蚀, 溅镀, 要求,耐粉尘
4. 高气流量,即使对于分子量较大的气体
5. 集成的 TC 1200 驱动单元,可直接连接一般电源
6. 支援腐蚀气体
7. 带节气阀门的集成密封气体系统
8. 标准介面介面:RS-485 以及远端控制;Profibus 或者 DeviceNet 可供选择
9. 符合 IP 54 防护标准,适用于工业应用环境
10. 符合 Semi S2 规范
11. 符合 UL, CSA 以及 TÜV 认证

分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 适用领域:
1. 半导体生产 2. 真空炉 3. 质谱分析 4. 研发及化工行业 5. 玻璃及刀具镀膜

Hipace 1000-2000 l/s 产品规格: