SHI Cryogenics Group

SHI Cryogenics Group 拥有50 余年低温真空技术积累，通过收购美国 IGC-APD Cryogenics 等企业实现全球化布局，是全球领先的低温制冷与真空解决方案提供商，专注于为半导体、医疗、科研等高端领域提供高效、可靠的低温与真空设备。

一、低温真空泵（Cryopumps）

作为半导体与真空镀膜领域的核心设备，SHI低温真空泵凭借技术优势占据全球领先地位，涵盖三大主力系列。SICERA®系列搭载双逆变器技术，较传统产品节能30%以上，支持6泵并联配2台压缩机，快速再生功能大幅提升生产效率，适配PVD、CVD、离子注入及刻蚀等半导体关键工艺；Marathon® CP系列采用Whisper®静音技术与Displex®气动驱动设计，可实现原位维护无需破真空，兼顾稳定性与操作便捷性，广泛应用于平板显示、太阳能电池及晶圆制造；专用冷阱系列（In-situ/In-line Cold Trap）能高效捕集杂质气体，为高洁净度真空系统与半导体工艺提供纯净环境保障。

二、低温制冷机（Cryocoolers）

拥有全球最完整的低温制冷机产品线，覆盖4K~80K全温区，满足多场景低温需求。GM制冷机采用Displex®核心技术，部件精简且寿命长久，CH系列（10K/4K）、DE系列等适配MRI设备、半导体制造及科研仪器；脉冲管制冷机无运动部件，振动极低，专为量子计算、精密仪器等对稳定性要求极高的场景设计；单级制冷机以CH-160D3为代表，制冷能力达725W@77K，可用于液氢/液氮生成与超低温保存，全面覆盖从基础工业到前沿科研的低温动力需求。

三、配套设备与系统

提供全链条辅助解决方案，助力低温真空系统稳定运行。氦气压缩机高效低噪，为制冷机提供核心动力源，支持多泵并联配置；定制化超高真空腔体与系统集成服务，可精准适配半导体制造、科研实验等个性化需求；配套配件与耗材涵盖冷头、吸附剂、智能控制器、柔性气体管线等，从核心部件到易损件全面覆盖，结合全球服务网络，保障设备全生命周期的可靠运行与快速维护。