VACGEN

VACGEN 聚焦超高真空（UHV）与半导体核心应用场景，专注提供精密化、场景化的真空技术设备及定制化工程解决方案，适配半导体制造、科研实验等严苛真空工艺需求。

核心产品与服务分为三大类别：

• 半导体专用设备：涵盖半导体腔体、负载锁及传输系统，精准匹配半导体制造流程中的真空环境作业需求，保障制程稳定性与高效性；

• 超高真空核心设备：包括 UHV 驱动与运动设备、非磁性传输装置、双向传输设备等，专为真空工艺中组件的精准移动设计，适配超高真空环境下的严苛运行标准；

• 定制化工程解决方案：针对不同行业的个性化真空应用场景，提供专属化设备研发与技术支持，满足差异化的真空工艺实施需求。

产品广泛服务于半导体制造企业、科研机构等，聚焦真空技术核心痛点，以精密制造与场景适配性为核心优势，助力相关领域高效开展真空相关作业。