卓凌一体式等离子清洗系统IPCS1000：解锁精密制造高效升级新路径！

系统简介| System Overview

卓凌一体式等离子清洗系统IPCS1000是一款面向科研院所与高端制造领域的智能清洗设备。系统以低损伤表面处理和高洁净效率为核心设计理念，可高效去除真空设备腔体及精密部件表面的颗粒、水汽和有机残留，实现在线清洗、无损维护与智能控制，助力用户构建高稳定性、高洁净度的真空环境。

六大核心系统| Six Core Modules

• 智能充气系统：双路混气设计，支持多气体精确配比；高精度质量流量计，保证气体流量稳定与均匀。

充气系统图

• 高效抽气控压系统：集成高性能真空泵与智能控压模块；快速抽气、动态稳压，保证清洗过程安全可靠。

抽气及质谱分析系统图

• 在线质谱分析系统：实时检测清洗后残余气体成分；清洗结果可视化、可追溯。

质谱分析软件界面图

• 精准烘烤控温系统：三路独立温控，最大加热功率2500W；稳定控温，提升污染物脱附与去除效率。

系统控制软件界面图

• 可调等离子体激发系统：射频电源驱动辉光放电，生成高活性等离子体；功率可调、电极可换，适配多场景清洗需求。

等离子激发图

• 智能数据控制系统：一体化控制平台，集中管理气体、真空、射频、温控等模块；支持数据记录、趋势分析与远程监控。

稳压数据分析图

残余气体分析图

技术优势| Key Advantages

与传统等离子清洗系统相比，卓凌辉光放电系统FDQX-001在等离子密度、清洗精度、智能控制及可靠性等方面具有显著优势。

应用价值| Application Value

• 提升真空系统清洁度与稳定性
• 减少设备停机时间，降低人工维护成本
• 适用于半导体制造、光学镀膜、科研实验设备等领域
• 支持科研级定制与工业级批量部署

用户收益| Customer Benefits

清洗效率提高约40%，洁净度提升60%，停机维护周期延长1.5倍，自动化操作减少人力投入，提高系统可靠性与可维护性。

适用行业| Target Industries

半导体制造、光学薄膜、真空镀膜、科研实验室、航空航天精密制造等。

企业理念| Our Vision

以精密工艺为基石，以等离子技术为核心，打造智能、可靠的真空清洗解决方案，助力科研创新与产业升级。